【超高真空技术】邱爱叶.pdf
超高真空技术 邱爱叶邵健中编著
12-16第1章真空科学技术基础 1真空性质真空的气体动力学模型压强.1分子的动能和速度 入射到表面的分子数 平均自程 热流逸 1气体经真空系统流动 流导 1小孔的流导 1管道的流导 1真空系统抽气 1抽速抽气率.1抽速、气体流入量和真空度 1真空系统内的气体源 1经容器壁的泄漏.虚漏 蒸发 表面出气 体出气 渗透 目录 前言 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1.
3扩散泵 3涡轮分子茶 吸附泵 低温冷凝泵 升华泵和吸气剂泵 离子汞 逸择抽气泵 文献 总压强测量 引言 电离规.B一A规 调制B—A规.分离规 磁控管型规 动量传递规 校规 电离真空计 文献 分压强测量 分压强测量的意义 规参量离子源 静态质谱计 5磁扇形分析器 5静电扇形分析器 5摆线质谱计 5动态质谱计+3 3 3.