【电子薄膜材料】曲喜新科学.pdf

中国科学院科学出版基金资助项目电子薄膜材料曲喜新杨邦朝编著姜节俭张怀武

前言关于材料的分类,按照其原子的化学结合性质来分,可分为金属材料、陶瓷材料、有机聚合物材料等.而按其应用形态来分,则可分为块状(体状)、板状、线状和膜状等类型的材料.在膜状材料中,又可分为薄膜材料和厚膜材料.薄膜材料与当代的许多先进科学技术密切相关,所以它的发展非常迅速、应用十分广泛、如电子薄膜、光学薄膜、机械薄膜、防护薄膜、装璜薄膜等、电子薄膜是微电子技术和光电子技术的基础,它的内涵十分丰富,现已形成多种高新技术产业.现在,国外关于电子薄膜的研究正在迅速发展,每年有大量的论文、报告和专利发表,并已研究出多种新型薄膜,近年来,我国有许多单位正从事与电子薄膜有关的研究、开发、试

2导电薄膜的应用 2.导电薄膜在合集成电路中的应用 2透明导电薄膜的应用第三章电阻薄膜 3.热分解膜的制备 3热分解碳膜的结热分解碳膜的性能 3硼碳膜和硅碳膜 3金属氧化膜的制备 * 3金属氧化膜的结构和性能 3金属和合金膜 3金属膜的结构和性能特点 3镍铬合金膜 3金属陶瓷膜 3金属陶瓷膜的制备*同时淀积导电相和介质相的金属离瓷膜 3合金膜部分氧化得到的金属陶瓷膜第四章半导电薄膜 4硅薄膜.