[电子薄膜材料]·曲喜新·科学社版

【电子薄膜材料】曲喜新科学.pdf中国科学院科学出版基金资助项目 电子薄膜材料 曲喜新杨邦朝 编著 姜节俭张怀武前言 关于材料的分类,按照其原子的化学结合性质来分,可分为金属材料、陶瓷材料、有 机聚合物材料等.而按其应用形态来分,则可分为块状(体状)、板状、线状和膜状等类 型的材料.在膜状材料中,又可分为薄膜材料和厚膜材料.薄膜材料与当代的许多先进 科学技术密切相关,所以它的发展非常迅速、应用十分广泛、如电子薄膜、光学薄膜、机 械薄膜、防护薄膜、装璜薄膜等、电子薄膜是微电子技术和光电子技术的基础,它的内涵十分丰富,现已形成多种高 新技术产业.现在,国外关于电子薄膜的研究正在迅速发展,每年有大量的论文、报告 和专利发表,并已研究出多种新型薄膜,近年来,我国有许多单位正从事与电子薄膜有 关的研究、开发、试2导电薄膜的应用 2.导电薄膜在合集成电路中的应用 2透明导电薄膜的应用 第三章电阻薄膜 3.热分解膜的制备 3热分解碳膜的结 热分解碳膜的性能 3硼碳膜和硅碳膜 3金属氧化膜的制备 * 3金属氧化膜的结构和性能 3金属和合金膜 3金属膜的结构和性能特点 3镍铬合金膜 3金属陶瓷膜 3金属陶瓷膜的制备*同时淀积导电相和介质相的金属离瓷膜 3合金膜部分氧化得到的金属陶瓷膜 第四章半导电薄膜 4硅薄膜.
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