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微电子技术概论 贾新章郝跃 网防工掌版社 北京
根据国务院关于高等学校教材工作的规定,我们承担了全国高等学校和中等专业学 校工科电子类专业教材的编审、出版的组织工作。由于各有关院校及参与编审工作的广大 教师共同努力,的紧密配合,从1978~1990年,已编审、出版了三个轮次教材,及时供给高等学校和中等专业学校教学使用.为了使工科电子类专业教材能更好地适应“三个面向”的需要,贯彻国家教委《高等教 育“八五”期间教材建设规划纲要》的精神,“以全面提高教材质量水平为中心,保证重点教 材,保持教材相对稳定,适当扩大教材品种,逐步完善教材配套”作为“八五”期间工科电 子类专业教材建设工作的指导思想,组织我们所属的八个高等学校教
目录 第一章概论 1半导体集成电路的出现和发展 1集成电路的分类 1集成电路的研制过程和设计特点 1《微电子技术概论》的内容安排 第二章集成器件物理基础半导体及其能带模型 2半导体的导电性2pn结和晶体二极管2 集成双极型晶体管 2 2JFET与MESFET器件基础 第三章集成电路制造工艺 3 硅平面工艺基本流程 3氧化工艺 3掺杂方法之一 扩散工艺 3 掺杂方法之二 离子注入技术 3光刻工艺 3制版工艺 3外延工艺 3金属化工艺 3引线封装 3隔离技术 3. 