【电子束和离子束加工】范玉殿.pdf
精密加工丛书 电子束和离子束加工 范玉殿主编
前言 随着生产和科学技术的不断进步,精密加工技术有了更 大的发展并得到广泛的应用。近几年来,精密机械和仪器仪 表业对零件的加工精度和表面粗糙度提出了更高的要求。飞 速发展的电子工业、航空工业、航天工业、生物工程、医疗器 械制造等更离不开精密加工技术。为了适应形势的需要,总 结、介绍国内外精密加工技术和先进经验,我们决定组织出版这套《精密期工丛书》。这套丛书的内容包括:精密磨 削、精密研磨、精密电火花加工、激光精密加工、电子束和 本书为《精密加工丛书》的分册之一,涉及电子束加工 本书并不企图详尽讲解电子束和离子束加工的物理本 质,而主要是介绍与加工技术密切相关的原理。
4-82.-88 -94目录 第一节电子束加工的发展 电子束加工工艺 电子束加工的特点 电子束加工的意义 电子束加工的电子光学基础 电子的运动 电子抢 磁透镜和磁偏转器 电子束精微加工 高能量密度电子束加工 电子束精微加工机 电子束精微加工工艺 电子束销微加工的应用 电子束焊接、镀膜、熔炼和热处理 电子束焊接 电子束镀膜 电子束熔炼 电子束热处理 微细加工中的曝光技术 电子束光 扫描电子束骤光 投影电子束曝光 软X射线曦光 第一章电子束加工简介 前言 第二节 第三节 第四书 第二章 第一节 第二节 第三节 第三章