【材料制备新技术】吴建生.pdf

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材料制备新技术 吴建生张寿柏编前言 本书系根据高等学校材料科学及工程累的教学需要而编写的教科书。学生在已经学习 了金属学、X射线衍射等课程的基础上,进一步学习本课程。本书内容主要介绍单晶材料、薄膜材料和非晶态材料的制备工艺和基本原理。为学生进一步学习功能材料、半导体材料 从1987年开始,本书作为油印教材开始使用,经过多年的教学实践,不断补充、完善,于 1995年正式定稿出版。本书可以作为国内高等学校材科科学及工程系有关专业的教学用 本书中单晶材料和非品态材料两部分由吴建生编写.薄膜材料部分由张寿柏编写。全 书编写过程中主要参考:美国R.A.Iandis编写的“TheGrothofSingleCrgstal8”.70-982辉光放电辉光放电阴极位降区的分析 2溅射牢及其影响因素 2减射设备 2直流射 2高频溅射 2磁控溅射 2反应激射离子.第三节化学气相沉积(OVD) 3OVD原理以热分解反应制备薄膜材料 3以氢还原反应制备薄膜材料 3氧化反应制备氧化物薄膜 3.