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薄膜物理与技术 陈国平主编
前言 作为物理学、化学、电子学、冶金学等多学科交叉而发展起来的薄膜科学,近年来 日益受到人们的普遍关注和重视。各种以应用薄膜为主体的高新技术和产业也正在迅速 蝙起并已形成较大规模.为了适应薄膜科学与技术的迅速发展和国民经济的迫切需要,国内不少高校先后开 设了薄膜物斑与技术方面的课程,但遗燃的是目前尚缺少一本能够反映当前薄膜科学与 技术进展和水平,内容全面、简明扼要的教材。因此我们编写本书的目的就在于希望能够 在不长的篇幅内,深入浅出地、系统地向读者介绍薄膜物理与薄膜技术的主要方面,包括薄膜的生长过程和形成机理、薄膜的各种制备技术和监控与测试技术、薄膜的结构 以及薄膜的特性。
第五章薄膜的性质5-1薄膜的力学性质5-2薄膜的电学性质5-3薄膜的光学性质5-4薄膜的磁学性质附表1元素蒸发镀膜特性附表2无机化合物直接蒸发镀膜特性