【薄膜材料与薄膜技术】郑伟涛化学工业.pdf

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薄膜材料与薄膜技术 郑伟涛等编著 材料科学与工程出版中心 北京前 当固体或液体的一维线性尺度远远小于它的其他二维尺度时,我们将 这样的固体或液体称为膜。通常,膜可分为两类,一类是厚度大于1um 的膜,称为厚膜.另一类则是厚度小于1um的膜,称为薄膜。显然,膜 的这种划分具有一定的任意性。本书中,我们只关注在固态基片(衬底、基底)上的固态薄膜.薄膜在基片上的形成涉及原子或分子在基片表面上的凝结、形成、长 大和随后的薄膜生长过程。薄膜生长过程中在基片表面上或者发生化学反 应,或者发生物理变化。可见,薄膜生长本身便涉及材料学、物理学、化 学等多个学科领域.薄膜的研究及其技术发展史可以追溯到17世纪。1650年R.Boye R.Hooke和1.本书系统阐述了薄膜材料与薄膜技术的基本理论和基本知识,重点介绍了薄 膜材料的真空制备技术、薄膜的化学和物理沉积方法、薄膜的形成和生长原理、薄膜的表征,对目前广泛研究和应用的几种主要薄膜材料进行了介绍、评论和 展望.本书适合于从事材料研究的科研技术人员、相关专业的大专院校师生阅读和 参考,同时也可作为研究生教材使用。