【压力传感器的设计制造与应用】孙以材刘玉岭等.pdf

河北省教育委员会学术著作出版基金资助压力传感器的设计、制造与应用孙以材刘玉岭孟庆浩编著北京

绪言传感器是非电量转化为电量测量的元、器件。经典电学测量技术已十分成熟,不仅灵敏度高(1×10-12V,1×10-17A,1×10-102,1×10-17F,1×10-16C),而且精度高、重复性好,数字化、智能化技术得到广泛的应用。这为传感器的发展提供了坚实的基础。现代测量涉及到众多物理量,例如重量、力和力矩、加速度、压力、流量等力学量,温度、热量等热学量,以及气体、液体的成分、浓度等化学量,还有生物、医学、环保等方面量的测量都需要用传感器来完成。另外,计算机和自动化技术的发展和应用也需要用传感器来获取各种信息,方可对其进行处理、传输和通讯,进而进行控制。

目录第一章晶体及其能带结构第一节空间点阵和晶体结构第二节晶体的能带结构第三节晶体的物理常数及其坐标变换参考文献第二章压力传感器的基本原理第一节单晶硅的压阻效应第二节扩散硅的压阻效应第三节多晶硅的压阻效应附录任意晶向压阻系数的计算参考文献第三章压力传感器中承压弹性膜的应力计算第一节弹性力学基础第二节承压弹性薄膜的应力分析第三节压力传感器弹性膜二维有限元法的应力计算第四节压力传感器三维有限元法应力计算