【超精密加工技术】庞滔等编国防工业.pdf
超精密加工技术 庞滔郭大春庞楠编 國防,草名版社 北京
本书是作者在长期教学研究的基础上广泛收集国内外超精密加工技术的资 料编写的,较系统、全面地介绍了世界上已达到的超精密加工技术。内容包括超 精密加工基础,超精密切削,超精密磨削,超精密研磨与抛光,特种加工,金属超 精密加工实例,硬脆非金属材料的超精密加工,半导体基片的超精密加工等章.本书可供从事超精密加工工作的科技人员及大专院校师生参考,也可作为 研究生教材。
307第二节电火花加工 第三节电子束加工 第四节离子束加工 第五节激光加工 第六节电解加工 第七节超声波加工 第七章金属超精密加工实例 第一节球面非球面反射镜的超精密切削 多面反射镜的超精密切削 硬磁盘基片的超精密切削.高精度模具加工 第八章硬脆非金属材料的超精密加工 陶瓷加工 磁头的超精密加工 光学透镜、棱镜的加工 反射光栅的加工 石英振子的加工 宝石加工.