【硅微型惯性器件理论及应用】王寿荣编.pdf
硅微型惯性器件理论及应用 王寿荣编著
根据国务院发23号文件批转试行的《关于高等学校教材编审出版若十问题的暂 行规定》,中国船舶工业总公司负责全国高等学校船舶类专业规划教材编审、出版的组织工 作.五个教材小组,聘请了有关院校的教授、专家50余人参加工作。船舶类专业教材委员会(小 组)是有关船舶类专业教材建设研究、指导、规划和评审方面的专家组织,主要任务是协助船 舶总公司做好高等学校船舶类专业教材的编审工作,为教材质量审查把关.道,在教材的编审依据、计划体制、出版体制等方面实行了有成效的改革,这些为“九五”期间 点教材,全面提高质量,继续增加品种,整体优化配套,深化管理体制和运行机制的改革,加 选题规划”。
目录 0绪论 0微机电系统与微型制造技术 0硅微型惯性器件及微惯性测量组合1微型惯性器件的物理基础 1硅材料的物理性能 1微型惯性器件对材料的要求1硅的晶体结构1硅的导电性能1硅的机械性能 1微型惯性器件的动力学基础1每氏加速度和陀螺力矩1动量矩定理及刚体绕定点转动的欧拉动力学方程1常用坐标系及坐标系之间的转换1微机械元件的弹性理论基础 1述 1柱形杆的自由扭转 1.