[电子束离子束技术]赵玉清编

【电子束离子束技术】赵玉清编.pdf新世纪本科生系列教材 电子束离子束技术 赵玉清编著 2002年3月绪论 电子束和离子束技术是一门综合性技术,最早与其发展相关的领域 主要有摄像与显示器件、微波器件、电子显微镜等分析仪器和加速器等.经过几十年的发展,现在电子束离子束仪器和设备不仅已经成为高能物 理、核物理、等离子体物理发展的重要实验手段,而且也成为微电子、光电 子、冶金、航空和航天、医疗仪器、机械等工业领域不可缺少的加工工艺和 设备。电子束和离子束技术也逐渐形成为一门独立的学科.电子束技术、离子束技术和激光束技术统称为三束技术,电子束和离 子束技术也称为带电粒子束技术。带电粒子束技术目前作为加工工艺或 分析手段促进了许多高技术的发展。目前主要的应用包括:1.光技术。第6章主要介绍带电粒子束与固体表面作用产生的各种信息的 检测和成像原理,以及在微电子技术中的应用。第7章介绍了电子束离 子束技术在显微分析中的应用。第8章介绍了扫描隧道显微镜(STM)技术及其应用。第7章和第8章主要讲电子束离子束技术在显微分析中 的应用.该教材在编写过程中得到唐天同教授的大力支持和帮助,从教材大 纲到具体内容,唐天同教授都提出了许多宝贵的意见。该教材得到了全 国电子与信息类电子物理专业教学指导委员会的大力支持,并列人西安 交通大学21世纪规划教材,在正式出版过程中,的大力 支持。在此,作者一并表示诚挚的谢意。
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