【电子束离子束技术】赵玉清编.pdf

新世纪本科生系列教材电子束离子束技术赵玉清编著 2002年3月

绪论电子束和离子束技术是一门综合性技术,最早与其发展相关的领域主要有摄像与显示器件、微波器件、电子显微镜等分析仪器和加速器等.经过几十年的发展,现在电子束离子束仪器和设备不仅已经成为高能物理、核物理、等离子体物理发展的重要实验手段,而且也成为微电子、光电子、冶金、航空和航天、医疗仪器、机械等工业领域不可缺少的加工工艺和设备。电子束和离子束技术也逐渐形成为一门独立的学科.电子束技术、离子束技术和激光束技术统称为三束技术,电子束和离子束技术也称为带电粒子束技术。带电粒子束技术目前作为加工工艺或分析手段促进了许多高技术的发展。目前主要的应用包括:1.

光技术。第6章主要介绍带电粒子束与固体表面作用产生的各种信息的检测和成像原理,以及在微电子技术中的应用。第7章介绍了电子束离子束技术在显微分析中的应用。第8章介绍了扫描隧道显微镜(STM)技术及其应用。第7章和第8章主要讲电子束离子束技术在显微分析中的应用.该教材在编写过程中得到唐天同教授的大力支持和帮助,从教材大纲到具体内容,唐天同教授都提出了许多宝贵的意见。该教材得到了全国电子与信息类电子物理专业教学指导委员会的大力支持,并列人西安交通大学21世纪规划教材,在正式出版过程中,的大力支持。在此,作者一并表示诚挚的谢意。