【微惯性仪表微机械加速度计】董景新等编.pdf
北京 董景新等编著 微机械加速度计 微惯性仪表
前言 在微米/纳米技术这一引人注目的前沿技术背景下,惯性技术 领域正经历一场深刻的变化。以集成电路工艺和微机械加工工艺 为基础制造的各种微传感器和微机电系统(MEMS)脱颖而出,平 均年增长率达到30。MEMS是尺寸从毫米到微米级的将电子元件和机械元件集成到一起的系统,可以对微小尺寸进行敏感、控 制、驱动,单独地或配合地完成特定的功能.具有体积小、质量轻、成本低、能耗低、集成度高和智能化程度高等一系列特点。微机械 加速度计是其中具有代表性的器件之一。
目录 国内外微机械加速度计发展历史及研究现状 微机械加速度计的应用前景 微机械加速度计的技术背景 2表面加工梳齿式电容加速度计 体硅加工梳齿式电容加速度计“跷跷板”摆式电容加速度计“三明治”摆式电容加速度计 LIGA加工高精度电容加速度计 隧道电流型加速度计 压阻式微机械加速度计 压电式微机械加速度计 微型热对流加速度计 微型双轴加速度计 微型三轴加速度计 引言 2微机械加速度计的类型 1概论 1 1 1 1 2 2 2 2 2 2 2 2 2 2.