【静电感应器件物理工艺与实践】李思渊编.pdf
静电感应器件 物理、工艺与实践 李思渊 编著
前言 1996年5月作者出版了《静电感应器件作用理论》一书.在该书前盲中写过这样一段 话:“多年来在静电感应器件开发研究中,我们深感到基础理论的重要性和迫切性,同时也受 限于当前理论落后于实践的现状:除文献外,至今还没有一本全面而系统的论述静电感应器 件作用理论的书可供参考.制管工艺实践得不到理论的有效指导而带有相当的经验性,理论 的落后也直接或间接地带来了许多技术困难,有鉴于此,作者在总结多年工作的基础上,充 的出版对我国静电感应器件的开发和生产起到了一点推动作用的话,我感到十分欣慰,然面 实践经验是更为醫要的.
目 帐 电参数的控制和工艺调节方面 27静电感应器件的电性能静电感应晶体管(SIT)电性能的控制 29结构尺寸对SIT电特性的影响.30材料参数的选取及其对SID电性能的影响(31SIT耐压容量的控制和工艺调节32高频功率参数的控制与工艺调节工艺的离散性和波动性参数调节中的诸关系35小沟道宽度对静电感应器件特性的影响36BSIT的工艺控制和参数调节37SITH电参数的控制和工艺调节 电参数的测试和性能研究方面 38静电感应器件SID电学参数的测试