【微波等离子体化学气相沉积金刚石膜】周健等中国建材工业.pdf

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微波等离子体 化学气相沉积金刚石膜 周健傅文斌袁润章著序 金刚石具有极高的硬度和导热率,优异的光学透过性能,高的 禁带宽度和场发射特性等极其优异的性质,因此在光学、半导体、真空微电子学、平面显示、机械及航空、航天和国防等领域都有十 分广泛的用途。在这些领域的应用,将会对国防、电子、光学和机 械等领域的高科技发展带来巨大的经济效益和社会效益:自20 世纪80年代初期低压气相沉积法生长金刚石膜技术有了重大突 破以来,现已成为当今材料科学中一个重要的研究热点.金刚石薄膜最大的潜在应用领域是作为光学薄膜和半导体薄 膜,而这个领域的开发在很大程度上依赖于高取向或单晶金刚石 薄膜及大面积的透明金刚石膜的获得,但由于金刚石膜生长过程 中缺陷的普遍存在,高取能对正在材料学科攻读薄膜科学技术的研究生和高年级大学生有 所启示。应该指出的是,我们的研究工作只是金刚石薄膜技术中 很少的一部分,同时也由于我们学术水平有限,不足之处,在所难 免,望读者多多指正。