【激光微细加工】叶玉堂.pdf

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激光微细加工 叶玉堂编著 1995激光微细加工是70年代末才发展起来的一门新技术,在微 电子、光电子、超导等领 页域都有广泛的应用。结合世界各国的一 光淀积、激光退火等激光微 细加工技术的原理 其的缺陷修复、MOSFET 超浅结的制作、半 欧姆接 酶形成、超导膜的制备及 a-Si:H太阳能电 本书适于光电子、微电子、集成光学 作教材或参考书。成了《激光微细加工》一书。该书内容丰富、新颖,实用性强,适合我国广大从事微电子、光电子、集成电路、集成光学、半 导体等专业的科研人员、大专院校教师、研究生和高年级本科 生作为参考书或教材。我相信,《激光微细加工》一书的出版必 将对我国电子工业、科学研究及教育有所补益。