【中国科学院科学出版基金资助项目电子薄膜材料】曲喜新杨邦朝姜节俭等科学.pdf
中国科学院科学出版基金资助项目 电子薄膜材料 编著 曲喜新杨邦朝 姜节俭张怀武
曲喜新 1995于成都电子科技大学 前言 关于材料的分类,按照其原子的化学结合性质来分,可分为金属材料、陶瓷材料、有 机聚合物材料等.而按其应用形态来分,则可分为块状(体状)、板状、线状和膜状等类 型的材料.在膜状材料中,又可分为薄膜材料和厚膜材料.薄膜材料与当代的许多先进 科学技术密切相关,所以它的发展非常迅速、应用十分广泛,如电子薄膜、光学薄膜、机 电子薄膜是微电子技术和光电子技术的基础,它的内涵十分丰富,现已形成多种高 新技术产业,现在,国外关于电子薄膜的研究正在迅速发展,每年有大量的论文、报告 和专利发表,并已研究出多种新型薄膜,近年来,我国有许多单位正从事与电子薄膜有
2导电薄膜的应用 2导电薄膜在LSI中的应用 2导电薄膜在混合集成电路中的应用 2透明导电薄膜的应用 3热分解碳膜的制备热分解碳膜的结构 3热分解碳膜的性能硼碳膜和硅碳膜 3金属氧化膜 3金属氧化膜的制备 3金属氧化膜的结构和性能 3金属和合金膜 3金属膜的结构和性能特点络、.