【强流荷电粒子束技术与应用】唐敦乙林书铨等电子工业.pdf

高等学校工科电子类规划教材强流荷电粒子束技术与应用唐敦乙林书铨刘志敏

根据国务院关于高等学校教材工作的规定,我部承担了全国高等学校和中等专业学校工科电子类专业教材的编审、出版的组织工作。由于各有关院校及参与编审工作的广大教师共同努力,的紧密配合,从1978～1990年,已编审、出版了三个轮次教材,及时供给高等学校和中等专业学校教学使用.为了使工科电子类专业教材能更好地适应“三个面向”的需要,贯彻国家教委《高等教育保持教材相对稳定,适当扩大教材品种,逐步完善教材配套”,作为“八五”期间工科电子类专业学校专业教学指导委员会,在总结前三轮教材工作的基础上,根据教育形势的发展和教学改革的需要,制订了1991.1995年的“八五”(第四轮

绪论在近代高科技的发展进程中,电子束、离子束、激光束(简称为“三束)技术起了巨大的作用,其发挥作用的领域由材料科学、冶金技术扩展到大规模、超大规模集成电路、光电子集成等方面,近20余年来,离子束技术的发展更为迅速.高速度的带电粒子携带大量能量早为人们所认识,但以高能带电粒子束作为加工的工具还是近40年的事。随着科学技术的发展,对加工手段的要求越来越高,加工精度越来越高,这些用传统的机械加工方法是不可能做到的,强流带电粒子束加工技术的发展成功的解决了许多精密加工的难题.带电粒子束分电子束与离子束两大类别,强流电子束在加工中都以高能量密度热源的形式进行工作。