【集成电路制造动力学理论与方法】郝跃河北教育.pdf
集成电路制造动 力学理论与方法 郝跃著 高科技教育丛书 gaokeji jiao yucongshu
前 言 半导体集成电路的产生与发展是多学科相互交叉的综合产 物.如果说集成电路最终必然实现自动化、智能化的最优性设 计和制造,那么集成电路制造动力学理论和方法是达到这一目 标的基础。它解决集成电路更深层次的难题却制造的稳定性 和效益的最优化问题.这是当集成电路的设计和制造发展到一 定规模和水平后必须考虑和解决的难题,本书的目的是使读者在对集成电路及其发展规律有所了解 的基础上,明确集成电路制造动力学理论和方法研究的必然性,以及对推动集成电路从功能设计向优化设计和制造发展的巨大 作用:明确该领域的具体内容和研究方法,并注意用这些理论 和方法解决集成电路设计和制造中的问题:虽然全书以硅单片 集
的专著,该领域的研究目前正蓬勃发展且许多方面并非十分成 熟,加之作者本人的经验和水平有限,在本书中定有许多不适 之处,肯请读者给予指正.