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微电子器件应用可靠性技术 庄奕琪主编
序 当今世界新技术革命的核心是电子信息技术,电子信息技术 的基础是微电子。可以说,谁拥有微电子技术的优势,谁就掌握了 21世纪的主动权,在经济领域是这样,在军事领域更是如此。随着 未来战争向着综合化、系统化和智能化发展,高技术性能和高可靠 性成为军事电子武器装备的两个制高点,而微电子器件的可靠性 在其中占有举足轻重的地位。大量事实业已证明,重视质量和可靠 性,将会带来显著的社会效益和经济利益.不重视质量和可靠性,就可能导致巨大的经济损失和恶劣的政治影响。“千里之堤,溃于 蚁穴”,这样的事例不胜枚举。
前言 半导体集成电路和分立器件,是构成各类电子整机系统的最 主要的器件,在本书中统称为微电子器件。电子整机系统的可靠性 在很大程度上取决于这些微电子器件的可靠性。微电子器件的可 靠性通常可由固有可靠性和应用可靠性来予以表征。固有可靠性 一般是指器件制造完成时所具有的可靠性。它取决于器件的设计、工艺和原材料性能。应用可靠性则是指器件用于整机系统时所具 有的司靠性。它不仅与器件的固有可靠性有关,而且与器件从制造 出厂至失效所经历的工作与非工作条件有关。如果器件使用时道 受到各种不适当的电、热、机械和化学等应力的作用,将会对其应 用可靠性水平造成严重影响。 