【声表面波传感器】陈明范东远李岁劳.pdf

声表面波传感器陈明范东远李岁劳著西北工业大学出版基金资助出版 1997年11月西安

前言在当代科学技术中,以计算机为基础的测控系统,都需要传感器提供赖以作出实时决策的信息。随着系统自动化程度和复杂性的增加,对传感器的精度、可靠性和动态响应要求越来越高。声表面波传感器就是在这种背景下出现的.作者紧跟国际上传感器发展方向,10年来积极开展声表面波传感器的理论与实践研究,获得了一些成果和经验,从而撰写了这本专著.本书第一章主要论述声表面波技术基础及声表面波传感器理论基础。这是研制声表面波传感器的共同理论基础.第二章至第六章主要分析研究了各类声表面波传感器的工作原理、设计计算、结构特点等。

第一章声表面波传感器概论一、引言.二、声表面波技术基础三、声表面波传感器理论基础第二章声表面波谐振式压力传感器一、压力的基本定义及各种单位二、声表面波谐振式压力传感器的组成及工作机理38 三、声表面波谐振式压力传感器敏感元件的理论设计45 四、声表面波谐振式压力传感器敏感元件的有限元设计五、声表面波谐振式压力传感器信号检测电路的设计六、声表面波谐振式压力传感器的误差分析第三章声表面波加速度传感器.