[声表面波传感器]陈明范东远李岁劳

【声表面波传感器】陈明范东远李岁劳.pdf声表面波传感器 陈明范东远李岁劳著 西北工业大学出版基金资助出版 1997年11月西安前 言 在当代科学技术中,以计算机为基础的测控系统,都需要传感 器提供赖以作出实时决策的信息。随着系统自动化程度和复杂性 的增加,对传感器的精度、可靠性和动态响应要求越来越高。声表 面波传感器就是在这种背景下出现的.作者紧跟国际上传感器发展方向,10年来积极开展声表面波 传感器的理论与实践研究,获得了一些成果和经验,从而撰写了这 本专著.本书第一章主要论述声表面波技术基础及声表面波传感器理 论基础。这是研制声表面波传感器的共同理论基础.第二章至第六章主要分析研究了各类声表面波传感器的工作 原理、设计计算、结构特点等。第一章声表面波传感器概论 一、引言.二、声表面波技术基础 三、声表面波传感器理论基础 第二章声表面波谐振式压力传感器 一、压力的基本定义及各种单位 二、声表面波谐振式压力传感器的组成及工作机理38 三、声表面波谐振式压力传感器敏感元件的理论设计45 四、声表面波谐振式压力传感器敏感元件的有限元设计 五、声表面波谐振式压力传感器信号检测电路的设计 六、声表面波谐振式压力传感器的误差分析 第三章声表面波加速度传感器.
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