【天津文史资料】选辑1995年第4辑总第68辑 - 中国人民政治协商会议天津市文史资料编.pdf
执行编辑:张继质 版面编辑:康明 校对:步丰基 张敦书(特邀)天津文史资料选辑 19954(总第六十八辑)中国人民政治协商会议天津市委员会 文史资料委员会编 出版(天库市张自忠路189号) 印数1—3000/G1063.
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立,试验所始成为独立的天津市半导体技术研究所(以下简称半研 所)。1978年1月重新划归天津市科委领导。1983年6月,经市政 府批准,以半研所理化分析室为基础,组建天津市理化分析中心,一直延续至今.1967年以后,根据天津市经济发展的需要和上级的安排,半 研所先后选定半导体材料、半导体器件和理化分析三个科研主攻 方向,我曾主持并亲自参与了许多重要项目的研究工作.1、设置硅材料研究室,开展单晶硅及硅外延片的研制。1964 年试验所在从事半导体材料锗的研究时,已开始筹备硅材料的研 究。1967年经过国内调研,根据研究所已经具备拉制硅单晶和提 纯高纯四氯化硅的基础,开始了硅外延片的研制。 
