[电子材料与工艺学]黄运添郑德修

【电子材料与工艺学】黄运添郑德修.pdf电子材料与工艺学 郑德修编 黄运添编者 前言 在现代科学技术与工业生产的发展进程中,材料与工艺问题处于非常重要的地位,往往 由于一种新材料或一项新工艺的应用,直接带来了巨大的经济效益和社会效益。电子元器件 是一大类工艺过程精细复杂、生产批量又非常大的产品,因而材料工艺问题比之于其他行业 就更为重要。随着电子元器件生产的发展,不但对传统的工艺方法不断进行着改进,而几 移植并吸收了许多其他行业的新工艺、新技术、新材料,所涉及的内容非常丰富。因此,对 此进行一定的概括与总结,编写一本《电子材料与工艺学》教材,使读者能较为方便地掌握电 子工业中常用材料的性能、特点、内部组织结构与性能的关系,以及电子元器件生产中基本 工艺技术的原理、方5-4化学气相沉积 5一5分子束外延制膜法.S5-6化学溶液镀膜法 S5-7薄膜厚度的监测 习题与思考题.第六章喷涂和荧光屏的涂敷技术 6-1空气喷涂与静电喷涂 6一2喷镀和等离子喷涂-3荧光屏的基本概念 56-4荧光屏的沉淀法涂敷-5彩色荧光屏的涂敷 习题与思考题 第七章微细加工技术 S7-1光刻加工.
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