【电子工业静电控制技术】孙延林.pdf

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电子工业静电控制技术编者 1995年1月 前言 随着我国科学技术的发展,尤其是电子、邮电、电力、航空航天等高新产业的迅速崛起,电子产品日益向轻、薄、小、高密度、高可靠、多功能等方向发展,电子产品所用集成电路的集 成度也不断增加。据报道,国外采用0um技术生产的4M位DRAM(动态存储器),可在 15×15mm芯片上集成900万个元器件。美国IBM公司声称要在本世纪末,采用0.0um超微细加工技术研制出1G位DRAM,可在一个芯片上集成10亿个器件。随着集成 度的不断提高,介质绝缘层愈来愈薄,其相应耐击穿电压也降低。CMOS器件绝缘层的典型 厚度约为0.133.157方火工石化系统及电子工业用防静电橡胶板(包括复合胶板)检验140 防静电泡沫塑料、防静电安全帽、防静电工作台(终端台)检验 第五节防静电系统工程的管理 第七章防静电用品(装备)、工程的质量检验 第一节计算机机房用活动地板检验 第二节防静电工作服检验 第三节防静电鞋、导电鞋检验 第五节防静电塑料元件盒、转运箱、周转箱检验 防静电塑料包装袋检验 第七节防静电手腕带(脚带)检验 第九节防静电味子、手