【半导体材料生长技术】WTTSANG江剑平等译广东科技.pdf
半导体材料生长技术 TSANG 生编
本书全面、系统地介绍了近二十年半导体光电子技术领域中的主要研 究成果。本册共六章,详细说明了各种Ⅲ-V族化合物半导体的外延生长 技术和材料缺陷,讨论了液相外延、分子束外延,常压和低压金属有机化 学汽相沉积,以及内化物和氯化物输运汽相沉积等各项技术。该书对我国 从事半导体光电子技术的科研、教学及工程技术人员是一本具有借鉴和启 迪作用的参考书。
出版前言 由美国ATT贝尔实验室W.T.TSANG共分七册,前五册 讨论的是半导体光电子技术,载人《半导体与半金属>第22卷,后两 册讨论的是光纤技术及传输系统,载人《光纤通信》论文集。现在我 们出版了前五册的中文版,并将原书各册的顺序作了调整,旨在介 绍国外光电子技术领域研究的新成果,并定名为<半导体光电子技 术丛书>。它包括:第一册半导体注人型激光器(I)第二册半导体注入型激光器(Ⅱ)和发光二极管 第三册半导体光检测器 第四册半导体集成光电子学 第五册半导体材料生长技术 原书由美国、日本、法国的38位专家撰稿,全面、系统