【等离子体表面工程】杨烈宇中国科学技术.pdf
等离子体表面工程 杨烈宇主编
《等离子体表面工程》译丛编译委员会 主任委员:杨烈宇 委员:(按姓氏笔画为序) 王富山冯广勤关德林李国卿 顾卓明倪暹鲁济顺黑祖昆 本集
目录 一、综述 等离子体表面工程一技术动向和影响 [德国]AHauff 无机薄膜沉积工艺中的等离子体气氛 [美国]DMMattox 摩擦表面离子处理改性的现状和展望.[美国]TSpalvins 等离子扩渗处理.[德国]K一TRie 表面与薄膜分析的最新进展 [德国]HOechsner 二、离子沉积技术 空心阴极辉光放电形成TIN工艺中氮的反应概率.[日本]YMatsumura等 用计算机对等离子体聚合过程进行探针诊断研究 .