【机电产品微细加工技术与工艺】胡耀志黄光周等广东科技.pdf

【机电产品微细加工技术与工艺】胡耀志黄光周等广东科技.pdf

机电产品微细加工技术与工艺 胡耀志黄光周于继荣编著微细加工是指制造尺寸为亚毫米到纳米(10-微米)数量 级的机械零件和电子器件的加工方法。本书从机电一体化的角 度,论述精密机械和微电子技术这两方面的微细加工技术与工 艺,重点是介绍集成电路的生产技术、工艺原理和加工方法.本书主要供从事精密机械和电子器件生产的科技人员阅 读,也可作有关专业的研究、设计人员和高等院校师生参考。本书对于制造更微细、更精确、更快、更便宜而又 符合要求的产品,提供了可选择的工艺条件和加工技术.本书是作者根据几年来给“电子物理与器件”专业的本科 生、研究生讲授《微细加工技术》讲义的基础上整理而成的.机械电子工业部“电子物理与器件”专业教材编审组的学者、教授对该讲义给予充分的肯定,一致认为其取材新颖,内容丰 富,很有特色,是一本很好的本科生和研究生的参考书,也是 科技工作者的良好读物.同时也提出了许多修改意见。根据 这些宝贵意见,作者在原讲义的基础上进行了修改和补充,本书是一本口径较宽的工艺技术书,包含了丰富的内容.全书共有七章。