【现代低温泵】高香院.pdf

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现代低温泵 高香院编著者高香院 前言 现代低温泵是近几年才发展起来的用低温手段获得洁净无油高真空及超高真空的新技 术,是低温技术和真空技术紧密结合的产物。它使获得无油活净真空的技术,从实验室使用 走向大规模工业应用。这是真空技术方面的重要进展,也扩大了低温技术的领域。近几年来 国外在工业生产、科研等部门广泛应用了现代低温泵,特别为电子工业生产中一些新工艺所 必需。在化学工业、原子能工业、空间技术和一些现代仪器仪表中也得到广泛应用。它对提 高产品质量和生产效率有极重要的意义。开始时,现代低温泵是以研究与实验室试用为主。1975年,特别是在1977年以后,美 国空气产品和化学公司及低温工艺(CTI)公司由原来的低温制冷产品公司转入低温与真空结 合的公司,它们生产的制冷机低温泵产品正式投入市场。约从1980年开始,现代低温泵进入 大发展时期,美国从上述两家生产低温泵的公司,发展到现有的9家公司。且各家生产的现 代低温泵各有其特色,对空气的抽速从数百升/秒到数万升/秒,并有各种规格的系列产品.同时,苏联、英国、法国、西德、荷兰等国的许多公司也都开展了对低温泵的研究,大规模 地开展了工业生产,形成了自已的低温泵产品系列,投入国际市场。