【真空测量与检漏】东北工学院刘玉岱冶金工业.pdf

高等学校教学用书真空测量与检漏东北工学院刘玉岱主编

编者 1991年11月本书是根据高等学校“真空技术及设备”专业的本科生课程“真空测量与检漏”的教学要求编写的。书中着重于基本理论、基本知识和基本技能的阐述。通过本课程的学习,使学生掌握全压力和分压力测量,真空计校准以及检漏技术等理论知识和技能。本书对从参加本书编写工作的有刘玉岱(绪论,习题及1,4,7,8,10章)、关奎之(6,11,13,15章)、孙广生(2,5,12章)和姜增奎(3,9,14章)。本书由刘玉岱任主北京大学郭元恒、机电部沈阳真空技术研究所姜变昌和东北工学院杨乃恒审查了初稿,并于1991年10月16日在东北工学院召开了审稿会,专家们提出了许多宝贵意见,在此由于编

前级真空处容积,m 收集极电压,V 传递阀的传递容积,m 速度,ms 功,J,电离效率离子带电荷数.分子间碰撞率,8 表面适应系数:系数碎片峰图象系数:调制规调制系数:系数氮气的分压比分压比灵敏度不确定度.真空度百分数被检计与基准器的最大相对偏差基准器不确定度允许误差辐射系数动力粘滞系数,Pas 空气粘滞系数,Pas 氮粘滞系数,Pas 示漏气体粘滞系数,Pas 分子自由程,m 分子平均自由程,m 导热系数,Wm-K- 气体分子导热系数,Wm-2Pa-K- 物质密度,kgm.电阻率,m 分子有效直径,m.斯蒂芬-玻尔兹曼常数,Wm-K.