[真空测量与检漏]·东北工学院刘玉岱·冶金工业社版

【真空测量与检漏】东北工学院刘玉岱冶金工业.pdf高等学校教学用书 真空测量与检漏 东北工学院刘玉岱主编编者 1991年11月 本书是根据高等学校“真空技术及设备”专业的本科生课程“真空测量与检漏”的教 学要求编写的。书中着重于基本理论、基本知识和基本技能的阐述。通过本课程的学习,使学生掌握全压力和分压力测量,真空计校准以及检漏技术等理论知识和技能。本书对从 参加本书编写工作的有刘玉岱(绪论,习题及1,4,7,8,10章)、关奎之(6,11,13,15章)、孙广生(2,5,12章)和姜增奎(3,9,14章)。本书由刘玉岱任主 北京大学郭元恒、机电部沈阳真空技术研究所姜变昌和东北工学院杨乃恒审查了初 稿,并于1991年10月16日在东北工学院召开了审稿会,专家们提出了许多宝贵意见,在此 由于编前级真空处容积,m 收集极电压,V 传递阀的传递容积,m 速度,ms 功,J,电离效率 离子带电荷数.分子间碰撞率,8 表面适应系数:系数 碎片峰图象系数:调制规调制系数:系数 氮气的分压比 分压比灵敏度 不确定度.真空度百分数 被检计与基准器的最大相对偏差 基准器不确定度 允许误差 辐射系数 动力粘滞系数,Pas 空气粘滞系数,Pas 氮粘滞系数,Pas 示漏气体粘滞系数,Pas 分子自由程,m 分子平均自由程,m 导热系数,Wm-K- 气体分子导热系数,Wm-2Pa-K- 物质密度,kgm.电阻率,m 分子有效直径,m.斯蒂芬-玻尔兹曼常数,Wm-K.
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