【半导体工艺化学】韩爱珍.pdf

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半导体工艺化学 韩爱珍电子工业部教材办公室 .根据国务院关于高等学校教材工作分工的规定,我部承担了全国高等学校、中等专业学 校工科电子类专业教材的编审、出版的组织工作。由于各有关院校及参与编审工作的广大教 师共同努力,的紧密配合,从1978年至1985年,已编审、出版了两轮教材,正在 为了使工科电子类专业敏材能更好地适应“三个面向”的需要,贯彻“努力提高教材质 量,逐步实现教材多样化,增加不同品种、不同层次、不同学术观点、不同风格、不同改革 试验的教材”的精神,我部所属的七个高等学校教材编审委员会和两个中等专业学校教材编 审委员会,在总结前两轮教材工作的基础上,结合教育形势的发展和教学改革的需要目录 第一章相图及其应用 1-1相律-2单组分二相物系的相平衡 1-3二组分物系的相平衡 1-4二组分凝聚物系的各类相图 1-5相图在半导体生产中的应用 复习题 第二章半导体技术中的有机物和高聚物.