【薄膜物理】曲喜新过璧君编电子工业.pdf
薄膜物理 曲喜新过璧君
前言 本教材系按中国电子工业部的工科电子类专业教材1991.1995年编审出版规划,由《电子材料与固体器件》教材编审委员 会《电子材料与元件》编审组审定并推荐出版,责任编委为李标 本教材由电子科技大学曲喜新教授主编,特聘请电子科技大 本课程的参考教学时数为60一70学时,其对象主要是硕士研 究生和高年级本科生。为了适应教学的需要,在1986年由上海科 出版了曲喜新编著的(薄膜物理)一书。本教材是 该书的修编本。根据(电子材料与元件)专业教材的安排与发展,参考近年来在薄膜物理方面的新进展,在本次修编中,对原书的 第二章:薄膜的力学性质进行了改写,将第四章:薄膜的表面和 界面换
目 1-1单体的吸附 小原子团的形成 成核理论 凝结系数 薄膜的岛状生长过程 薄膜的生长模式 外延薄膜的形成 薄膜的结构 薄膜中的缺陷 薄膜的力学性质 薄膜的附着性能 薄膜的内应力 薄膜的弹性、强度和硬度 薄膜的摩擦、磨损和磨蚀 金属薄膜的电导 岛状薄膜的电导 外因对岛状薄膜电导的影响 网状薄膜的电导 连续