【扫瞄电镜原理及应用技术】廖乾初蓝芬兰冶金工业.pdf

扫描电镜原理及应用技术廖乾初蓝芬兰编著

前言扫描电镜是近代研究表面微观世界的一种全能电子光学仪器自从1965年正式投入商品生产以来,它作为表面观察和原位显微分析的仪器,主要向高分辨率观察和更表面的显微分析方向发展。由于扫描电镜是属于一种表面显微镜,它能观察任何不规则的原始表面,所观察到的图象比其它类型的显微镜更富有立体感,且能在原位同时进行成分分析和结晶学分析,因此,它在生物学和医学,地质学,材料科学和半导体技术等各个学科领域中得到广泛的应用。目前,扫描电镜本身及其在各方面的应用还在不断发展中.近年来,在国内的科研机构,高等院校,和厂矿中扫描电镜的应用已十分普遍,从事这方面应用研究的队伍日益扩大。

的不同特色出发,说明商品生产扫描电镜的现状,再系统阐述各种扫描电镜的发展近况,以便有规律可循地了解未来的发展动.最后还专门讨论了扫描电镜分辨率的发展前景问题,预计在今后几年内,扫描电镜的分辨率将会有更大的突破.本书部分资料取自我们自己的工作,由于我们水平有限,书中缺点一定很多,敬请广大读者指正。