[微电子生产工艺实用手册]·王家源刘长恩·电子工业社版

【微电子生产工艺实用手册】王家源刘长恩电子工业.pdf微电子生产工艺实用手册 王家源刘长恩 主编前言 以集成电路技术发展为基础,世界电子信息产业已全面完 成了向微电子化的过渡。微电子生产工艺的飞速发展,使电路的 集成度日益提高,已能将几万个甚至几千万个元器件集成在一个芯片上而构成单片系统,从而使整机的性能价格比、质量和可 靠性大大提高,各种人工智能设备层出不穷。这就使微电子产品 在通信、宇航、能源、交通、工业、医学、以至家用电器等各个领域 都获得了广泛的应用,使人类进入了以电子信息技术为代表的 新技术革命时期。可以说,构成新技术革命的新技术群体中,电 子信息产业起着先导作用.在电子技术中,微电子技术又占据着 核心地位。Ⅲ 汉一英词条索引英一汉词条索引词条正文附录缩语、缩写、符号和单位
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