【精密测量中的误差补偿技术】谭久彬.pdf

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精密测量中的误差补偿技米 谭久彬著序 误差补偿技术是随着精密工程研究水平的不断提高而产 生并迅速发展起来的一门重要技术分支。该技术在现代精 密工程发展中起着重要的技术支柱作用。时至今日,几乎所 有的精密、超精密及纳米测量技术及仪器都把误差补偿技术 作为其自身发展的关键技术之一.一方面,误差补偿技术极大地丰富了现代精密工程学,对精密工程学的发展作出了重要贡献.另一方面,误差补偿 技术作为一门新技术分支,又有自已的特点与独立内容。因 此,对现有误差补偿技术进行归纳整理,使其理论化、系统化 和实用化,将具有十分重要的学术意义和工程价值。前言 随着精密工程水平的不断提高,特别是近年来超精密技 术的迅速发展和纳米技术的掘起,对制造技术和测量技术的 精度水平提出了越来越高的要求。其中,因测量技术担负着 技术发展的先导和产品质量检测的双重使命,所以最先发展 起超精密测量技术与纳米测量技术.测量技术从亚微米级 向纳米级发展的过程有两个显著特点,一个是不断采用其它学 科的最新技术,测量学与其它学科的交叉愈加普遍.另一个 是误差补偿技术在精密测量中的作用口重要,在很多情况 下,其作用是其它技术无法替代的,误差补偿技术与“硬技 术”互相补充,分别发展成为精密工程的两大技术支柱。