【薄膜材料制备原理技术及应用】唐伟忠冶金工业.pdf
薄膜材料制备原理、技术及应用 唐伟忠著 北京
前言 在近几十年里,材料科学取得了长足的进展。具备各种优异 性能的新材料层出不穷。材料的选择范围已经不再仅仅局限于少 数儿种传统材料,而是包括了种类繁多、性能和用途各异的成于 上万种新型材料.在材料料学的各分支中,薄膜材料科学的发展一直占据了极 为重要的地位。薄膜材料是相对于体材料而言的,是人们采用特 殊的方法,在体材料的表面沉积或制备的一层性质与体材料性质 完全不同的物质层。薄膜材料受到重视的原因在于它往往具有特 殊的材料性能或性能组合。
前言3 的种类紧多,因而在有限的篇幅内将不可能完全概括薄膜材料科 学的所有内容。考虑到这一点,本书将把讨论的重点限制在薄膜 材料最基本的制备、表征方法,最基本的生长理论以及少数典型的 薄膜材料应用实例方面。希望读者在阅读过本书之后,能对薄膜 材料料学最基本的原理及方法有一概括性的了解。至于许多更为 专门的有关薄膜材料的实验技术、制备方法和生长理论的论述,读者可进一步参考其他专著以及有关的原始文献.在内容的编排上,本书的第一章介绍了在薄膜技术中涉及到 的真空技术基础知识,包括气体分子运动论的基本概念和真空的 获得及测量方法。